NANO-X由中科院、江蘇省、蘇州市、蘇州工業(yè)園區(qū)四方投資共建，由中科院蘇州納米所承建。該裝置集材料生長、器件加工、測試分析為一體，首期投入3.2億人民幣，二期計劃投入3.68億人民幣。

2019年6月，NANO-X完成一期項目（小型驗證裝置）總驗收。NANO-X一期可初步實現(xiàn)納米材料表面或界面調(diào)控，突破異質(zhì)材料集成難題。NANO-X二期目前正在建設(shè)中，建成后將在一期基礎(chǔ)上進(jìn)一步提升，例如將開展低維量子材料與器件的研發(fā)，探索超導(dǎo)量子比特的全新制備工藝等。

NANO-X的最大亮點(diǎn)是實現(xiàn)多個納米科技實驗平臺的真空互聯(lián)。

“材料的尺寸越小，它們的表面效應(yīng)或量子效應(yīng)就越明顯。比如，納米級光電器件在制備過程中的某些工藝環(huán)節(jié)一旦暴露在空氣中后，可能會對材料性能產(chǎn)生很大影響。” 中科院蘇州納米所副研究員李坊森說。

李坊森介紹，以往國內(nèi)進(jìn)行納米科技研究的平臺小而分散。納米材料在某個平臺上生長出來后，需要從真空中取出，到另一個平臺進(jìn)行測試分析，取出過程可能使納米材料特性受損。

NANO-X正是為了解決納米科技研發(fā)中的這些關(guān)鍵共性難題而建設(shè)的。李坊森告訴科技日報記者，一方面，NANO-X通過設(shè)備的真空互聯(lián)為“敏感”的納米材料提供了必要的真空保護(hù)。

另一方面，它將材料生長、器件加工、測試分析等納米科技研發(fā)的全鏈條銜接在一個平臺上，有利于保證納米材料特性的穩(wěn)定，從而提升納米器件的性能。

“目前，NANO-X一期已面向全球用戶開放。希望在NANO-X上進(jìn)行納米技術(shù)研發(fā)的團(tuán)隊可在網(wǎng)上提出申請。” 李坊森介紹，目前提出申請的用戶不僅有高校科研院所的研究團(tuán)隊，還有納米科技領(lǐng)域的企業(yè)等。